拆卸氣動隔膜泵之前，將左右邊的氣室及液室分別標上記號以助于后續的再組裝動作。使用扳手將連接出口管與液室的小卡箍松開，拆除出口管即可看到閥球和閥座，拿出球和座并檢查泵的其他備件有磨損、化學腐蝕、裂痕等現象。使用扳手將連接進口管與液室的小卡箍松開，拆除出口管即可看到閥球和閥座，拿出球和座并檢查泵的其他備件有磨損、化學腐蝕、裂痕等現象。

   使用扳手將液室和泵的中間體分開，拆除液室即可看到膜片及膜片夾板。使用工具或扳手固定膜片外夾板左右邊緣，將隔膜裝置與中間體分開。然后順時針旋轉松開隔膜裝置。移出膜片外夾板后，將軸從中間體取出。使用夾鉗（加墊木板）將軸與膜片裝置分開，檢查軸、夾板、膜片是否損壞和腐蝕現象。